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單晶硅的材料強(qiáng)度比鋼鐵強(qiáng)10倍，而且擁有良好的彈性和穩(wěn)定性

• 產(chǎn)品的結(jié)構(gòu)很堅固，重復(fù)性好，構(gòu)造精確

加工精度 < 1 微米

• 從而提供了移動平臺和基準(zhǔn)平臺之間可以幾乎無誤差對接

高縱橫比的彈性梁

• 縱橫比高于 20：1
• 提供良好的設(shè)計靈活性

在運(yùn)動方向的剛度是其他自由度方向剛度的千分之一或更軟

• 可確保精確的運(yùn)動控制

微機(jī)電驅(qū)動馬達(dá)是基于梳齒驅(qū)動結(jié)構(gòu)

• 梳齒結(jié)構(gòu)是電容驅(qū)動器，利用的靜電力來驅(qū)動兩極的導(dǎo)電梳齒
• 梳齒的排列能夠保證彼此之間不會接觸
• 當(dāng)施加電壓時，兩極梳齒結(jié)構(gòu)會相互吸引，從而產(chǎn)生運(yùn)動
• 靜電力（ 和運(yùn)動） 是與兩極梳齒之間的電容變化成正比的