微機電
單晶硅的材料強度比鋼鐵強10倍,而且擁有良好的彈性和穩定性
加工精度 < 1 微米
高縱橫比的彈性梁
在運動方向的剛度是其他自由度方向剛度的千分之一或更軟
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微機電驅動馬達是基于梳齒驅動結構
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單晶硅的材料強度比鋼鐵強10倍,而且擁有良好的彈性和穩定性
加工精度 < 1 微米
高縱橫比的彈性梁
在運動方向的剛度是其他自由度方向剛度的千分之一或更軟
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微機電驅動馬達是基于梳齒驅動結構
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